半導體全自動單臂式超聲波清洗烘干設備
超聲波清洗1（40khz)-超聲波清洗2（40khz)-旋流漂洗—超聲波漂洗--熱風干燥。設備主要部件由，單臂機械手，伺服橫移驅動系統(tǒng)，伺服提升驅動系統(tǒng)，氣動手指抓取系統(tǒng)，氣動上下料系統(tǒng)，循環(huán)過濾系統(tǒng)，熱風干燥系統(tǒng)，智能PLC控制系統(tǒng)等組成，超純水制取系統(tǒng)等組成。該設備的特點是清潔度高，自動化程度高，解決了客戶清洗殘留嚴重，合格率低的問題。
可根據產品工藝制定清洗方案及設備